【下載應用摘要】瞭解如何使用四點探棒量測技術進行電阻率量測

發布時間：2023-10-02 09:50:30 人氣：335

半導體材料研究和裝置測試通常涉及確定樣品的電阻率和霍爾遷移率。電阻率取決於多種因素，

包括材料摻雜、加工以及溫度和濕度等環境因素。在裝置中，電阻率會影響電容、串聯電阻和閾值電壓。

半導體的電阻率通常使用四點探棒技術來確定。若使用四個探棒，將可消除由於探棒電阻、

每個探棒下的擴展電阻以及每個金屬探棒與半導體材料之間的接觸電阻而產生的量測誤差。

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