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使用 4200A-SCS 參數分析儀簡化電荷幫浦量測

發布時間:2026-08-03 10:21:21 人氣:3

透過對閘極電壓施加脈衝並量測直流基板電流,是電荷幫浦(Charge Pumping)量測的基本原理,

因此需要搭配脈衝產生器與高靈敏度直流電流計。

4200A-SCS 參數分析儀提供完整的閘極介電層介面特性分析解決方案。在本應用說明中,

您將了解如何從電荷幫浦電流(ICP)中擷取與元件品質及劣化相關的重要資訊,

包括介面陷阱密度(Interface Trap Density)及平均捕獲截面(Mean Capture Cross Section)等關鍵參數。


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