洞察特性的速度加快 2 倍，讓您能勇敢地探索4200A-SCS 是模組化、可自訂且完全整合的參數分析儀，能針對電流-電壓 (I-V)、電容-電壓 (C-V) 及超快速脈衝 I-V 電子特性提供同步見解。其選購的 4200A-CVIV 多重切換模組能夠毫不費力地在 I-V 與 C-V 量測之間切換，無須重新佈線或升起探針。4200A-SCS 是效能最高的分析儀，可加
洞察特性的速度加快 2 倍，讓您能勇敢地探索
4200A-SCS 是模組化、可自訂且完全整合的參數分析儀，能針對電流-電壓 (I-V)、電容-電壓 (C-V) 及超快速脈衝 I-V 電子特性提供同步見解。其選購的 4200A-CVIV 多重切換模組能夠毫不費力地在 I-V 與 C-V 量測之間切換，無須重新佈線或升起探針。4200A-SCS 是效能最高的分析儀，可加速測試複雜的裝置，以供材料研究、半導體裝置設計、製造開發或生產之用
型號 | 電流-電壓 (I-V) 範圍 | 電容-電壓 (C-V) 範圍 | 脈衝 I-V 範圍 |
4200A-SCS | 0.1 fA – 1 A | 1 kHz – 10 MHz | ±40 V (80 V p-p)，±800 mA |
功能及優點
● 與來源量測單元、C-V 單元及超快速脈衝 I-V 單元完全整合的主機
可快速、清楚及有信心地執行 I-V 特性、AC 阻抗量測、波形擷取及暫態 I-V 量測● Clarius™ GUI 型軟體，具有觸控滑動或點按控制
能夠進行進階測試定義、參數分析、繪圖及自動功能，得到清楚的量測與分析結果，
品質絕不妥協● 內建智慧型輔助量測視訊，及超過 450 種應用程式測試
快速開始測試，提供量測協助及疑難排解指南● I-V 電源量測單元 (SMU)
±210 V / 100 mA 或 ±210 V / 1 A 模組，100 fA 量測解析度，以及具有選購
前置放大器的 0.1 fA 量測解析度● C-V 多重頻率電容單元 (CVU)
AC 阻抗量測 (C-V、C-f、C-t)，1 kHz – 10 MHz 頻率範圍● I-V/C-V 多重切換模組 (CVIV)
輕鬆地在 I-V 與 C-V 量測之間切換，或將 C-V 量測移至任何終端機，無須重新
佈線或升起探針● 脈衝的 I-V 超快速脈衝量測單元 (PMU)
兩個具有高速脈衝 I-V 電源與量測的獨立或同步通道；200 MSa/秒，5 ns 取樣率；
透過選購前置放大器將電流靈敏度擴大至 10 皮安● 高壓脈衝波產生器單元 (PGU)
兩個具有高速脈衝 V 電源的通道；±40 V (80 V p-p)，±800 mA● 完全可自訂，且可完整升級
立即僅新增您需要的儀器，或稍後再新增
模組
型號 | 說明 |
ULTRA FAST BTI PKG FOR MODEL 4200-SCS | |
4200-PA | REMOTE PREAMP OPT 4200-SMU AND 4210-SMU |
4200-SMU | MEDIUM POWER SOURCE-MEASURE UNIT |
4200A-CVIV | 多重切換 |
4210-CVU | 4210 CAPACITANCE VOLTAGE UNIT 1KHZ-10MHZ |
4210-SMU | HIGH POWER SOURCE-MEASURE UNIT |
雙通道脈波產生器 | |
ULTRA-FAST I-V MODULE FOR THE 4200-SCS | |
REMOTE AMPLIFIER/SWITCH FOR THE MODEL 4225-PMU |
設定 | 規格 |
4200A-SCS-PK1 高解析度 IV | 210V/100mA，0.1 fA 解析度，適用於兩終端與三終端裝置，MOSFET，CMOS 特性 |
4200A-SCS-PK2 高解析度 IV 與 CV | 210V/100mA，0.1 fA 解析度，1kHz - 10MHz，適用於高 κ 電介質，深次微米 CMOS 特性 |
4200A-SCS-PK3 高解析度及功率 IV 與 CV | 210V/1A，0.1 fA 解析度，1kHz - 10MHz，適用於電力裝置，高 κ 電介質，深次微米 CMOS 裝置特性 |
4200-BTI-A 超快速 NBTI/PBTI | 適用於以先進的矽 CMOS 技術進行精密的 NBTI 與 PBTI 量測 |
