4200A-SCS 參數分析儀

洞察特性的速度加快 2 倍，讓您能勇敢地探索

4200A-SCS 是模組化、可自訂且完全整合的參數分析儀，能針對電流-電壓 (I-V)、電容-電壓 (C-V) 及超快速脈衝 I-V 電子特性提供同步見解。其選購的 4200A-CVIV 多重切換模組能夠毫不費力地在 I-V 與 C-V 量測之間切換，無須重新佈線或升起探針。4200A-SCS 是效能最高的分析儀，可加速測試複雜的裝置，以供材料研究、半導體裝置設計、製造開發或生產之用

功能及優點
● 與來源量測單元、C-V 單元及超快速脈衝 I-V 單元完全整合的主機 
    可快速、清楚及有信心地執行 I-V 特性、AC 阻抗量測、波形擷取及暫態 I-V 量測● Clarius™ GUI 型軟體，具有觸控滑動或點按控制 
    能夠進行進階測試定義、參數分析、繪圖及自動功能，得到清楚的量測與分析結果，
    品質絕不妥協● 內建智慧型輔助量測視訊，及超過 450 種應用程式測試 
    快速開始測試，提供量測協助及疑難排解指南● I-V 電源量測單元 (SMU) 
    ±210 V / 100 mA 或 ±210 V / 1 A 模組，100 fA 量測解析度，以及具有選購
    前置放大器的 0.1 fA 量測解析度● C-V 多重頻率電容單元 (CVU) 
    AC 阻抗量測 (C-V、C-f、C-t)，1 kHz – 10 MHz 頻率範圍● I-V/C-V 多重切換模組 (CVIV)
    輕鬆地在 I-V 與 C-V 量測之間切換，或將 C-V 量測移至任何終端機，無須重新
    佈線或升起探針● 脈衝的 I-V 超快速脈衝量測單元 (PMU) 
    兩個具有高速脈衝 I-V 電源與量測的獨立或同步通道；200 MSa/秒，5 ns 取樣率；
    透過選購前置放大器將電流靈敏度擴大至 10 皮安● 高壓脈衝波產生器單元 (PGU) 
    兩個具有高速脈衝 V 電源的通道；±40 V (80 V p-p)，±800 mA● 完全可自訂，且可完整升級
    立即僅新增您需要的儀器，或稍後再新增

模組

預先配置的系統

設定	規格
4200A-SCS-PK1 高解析度 IV	210V/100mA，0.1 fA 解析度，適用於兩終端與三終端裝置，MOSFET，CMOS 特性 套裝 4200A-SCS-PK1 包括： 4200A-SCS 參數分析儀 (2) 4200-SMU 模組 (1) 4200-PA 前置放大器 (1) 具有取樣裝置的 8101-PIV 測試治具
4200A-SCS-PK2 高解析度 IV 與 CV	210V/100mA，0.1 fA 解析度，1kHz - 10MHz，適用於高 κ 電介質，深次微米 CMOS 特性 套裝 4200A-SCS-PK2 包括： 4200A-SCS 參數分析儀 (2) 4200-SMU 模組 (1) 4200-PA 前置放大器 (1) 4210-CVU 電容電壓模組 (1) 具有取樣裝置的 8101-PIV 測試治具
4200A-SCS-PK3 高解析度及功率 IV 與 CV	210V/1A，0.1 fA 解析度，1kHz - 10MHz，適用於電力裝置，高 κ 電介質，深次微米CMOS 裝置特性 套件 4200A-SCS-PK3 包括： 4200A-SCS 參數分析儀 (2) 4200-SMU 模組 (2) 4210-SMU (1) 4200-PA 前置放大器 (1) 4210-CVU 電容電壓模組 (1) 具有取樣裝置的 8101-PIV 測試治具
4200-BTI-A 超快速 NBTI/PBTI	適用於以先進的矽 CMOS 技術進行精密的 NBTI 與 PBTI 量測  套件 4200-BTI-A 包括： (1) 4225-PMU 超快速 I-V 模組 (2) 4225-RPM 遠端前置放大器/切換模組 自動化特性分析套件 (ACS) 軟體 超快速 BTI 測試專案模組 佈線

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